VK-X SERIES

規格

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型號 顯微鏡 VK-X210 VK-X110 VK-X105
控制器 VK-X200K VK-X100K VK-X100K
15" 顯示器的倍率 200倍 400倍 1000倍 3000倍 200倍 400倍 1000倍 2000倍 100倍 200倍 400倍 1000倍
物鏡的倍率 10倍 20倍 50倍 150倍 10倍 20倍 50倍 100倍 5倍 10倍 20倍 50倍
觀察/ 量測範圍 (1) 水平 (H): μm 1350 675 270 90 1350 675 270 135 2700 1350 675 270
垂直 (V): μm 1012 506 202 67 1012 506 202 101 2025 1012 506 202
工作距離: mm 16.5 3.1 0.35 0.2 16.5 3.1 0.54 0.3 22.5 16.5 3.1 0.54
數值孔徑 (N.A) 0.3 0.46 0.95 0.95 0.3 0.46 0.8 0.95 0.13 0.3 0.46 0.8
光學變焦 1x to 8x
綜合倍率 200x 至 24000x 200x 至 16000倍 100x 至 8000x
觀察/ 量測用光學系統 針孔共焦光學系統
高度量測 量測範圍 7 mm 7 mm 7 mm
顯示解析度 0.0005 μm 0.0005 μm 0.0005 μm
重複精度 σ 0.012 μm(2) 0.02 μm(2) 0.02 μm(2)
寬度量測 顯示解析度 0.001 μm 0.01 μm 0.01 μm
重複精度 3σ 0.02 μm (3) 0.03 μm(4) 0.05 μm(5)
畫面格速率 像素計數 2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64
對於黑白影像 16 位元
對於彩色影像 RGB 各 8 位元
對於高度量測 24 位元 21 位元 21 位元
掃描頻(8) 面掃描 4 至 120 Hz
線掃描 7900 Hz
自動功能 AAG （自動增益）、自動對焦, 自動設定上下限, 雙掃描的光度設定
用於量測的 雷射光束光源 波長 紫光雷射, 408 nm 紅色半導體雷射, 658 nm
輸出 0.95 mW
雷射分類 第 2 類雷射產品 (IEC 60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 (6))
受光元件 PMT （光電倍增管）
用於光學觀察的光源 燈 100 W 鹵素燈
用於光學觀察的 彩色 CAMERA 攝像裝置 1/3 英呎彩色CCD 圖像傳感器
拍攝解析度 超高精細 (3072 x 2304)
自動調整 增益、快門速度
資料處理裝置 由 KEYENCE 隨 VK-X 一起提供的專用 PC (OS: Windows 7 Professional Edition) (7)
電源 電源電壓 100 至 240 VAC, 50/60 Hz
消耗電流 最大 450 VA
重量 測量部 約 約 26 kg（分離時探頭單體﹕ 約10 kg） 約 25 kg（分離時探頭單體﹕ 約8.5 kg） 約25 kg（分離時探頭單體﹕ 約8.5 kg）
控制器 約 11 kg
1. 觀察/ 量測範圍是最小視野範圍。
2. 使用 50 倍 物鏡測量標準高度差為 2 μm 時。
3. 使用 150 倍 物鏡以直線頂點模式（影像平均：8 次）測量 KEYENCE 參考圖 1 μm 線寬的直線時。
4. 使用 100 倍 物鏡以直線頂點模式（影像平均：8 次）測量 KEYENCE 參考圖 1 μm 線寬的直線時。
5. 使用 50 倍 物鏡（光學 2 倍變焦）以直線頂點模式（影像平均：8 次）測量 KEYENCE 參考圖 1 μm 線寬的直線時。
6. FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
7. Windows 7 是美國微軟公司的註冊商標。
8. 測量模式/ 測量品質/ 鏡頭倍率的群群組合中最快時。線掃描時的測量間隔為0.1 μm 以內時。

Laser RadiationLaser Radiation

系統設定

System Configuration