顯微鏡 / 表面測量儀
工業與生命科學應用領域的進階顯微鏡。
產品陣容
VHX-7000 系列元素分析模組上市，實現了使用數位顯微鏡進行元素分析。只需將目標物放置於載物台上，無需破壞目標物，也不需要蒸鍍或抽真空。搭載AI-建議，誰都能對元素分析後的物質確認作出適當判斷。
採用雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理的「三重掃描方式」。以高精度量測、分析各種目標物。實現最高解析度0.01 nm，奈米等級微小形狀變化也可正確量測。最大掃描區域50 mm平方，大的凹凸・手掌大小的目標物可完整掃描全貌與部分形狀皆可一台掌握。對於鏡面體・透明體等難度高的材質，可高速、高精度、大範圍量測。高倍率/低倍率、平面/凹凸/表面粗糙度、鏡面/透明等目標物不受限的全新雷射顯微鏡。
表面 3D 輪廓量測儀「VR-6000 系列」以非接觸方式實現粗糙度儀、輪廓形狀測量儀的量測。此 3D 輪廓量測儀可以使用 0.1 µm解析度掌握觸針式無法完全量測的面整體形狀。全新搭載了電動旋轉裝置。藉由一邊旋轉樣品一邊量測，無死角呈現真實的截面形狀。輕鬆量測以往必須截斷才能正確量測的部位厚度及深度尺寸。掃描能力透過 HDR 掃描演算法進化，針對光學式輪廓量測儀不易量測的光澤表面及較弱的反射材料目標物，亦可以瞬間判斷最佳條件，準確量測形狀。動態掃描範圍最高可達以往的 1000 倍。